据国外报道,荷兰光刻机制造商ASML已经确认将向客户交付最新款的EUV光刻机EXE:5200。这款新机型相比上一代产品来说更为强大,因此不会向中国厂商销售。 官方表示,EXE:5200是初代High NA EUV光刻机EXE:5000的升级版。新款光刻机拥有更高的晶圆吞吐量,即每小时可加工185片以上晶圆,能够更好地支持2nm工艺的量产。
快科技2月1日消息,据国外媒体报道称,ASML已经确认,即将出货最新款的EUV光刻机EXE:5200,相比上代来说,表现更加强悍,当然不会卖给中国厂商。 按照官方的说法,EXE:5200是现有初代High NA EUV光刻机EXE:5000的改进款,其将拥有更高的晶圆吞吐量(EXE:5000为每小时185片以上),可以更好的为2nm工艺量产做支撑。